300mmウェーハ用の自動化対応の工場間搬送容器。

 

[産業分野]

半導体

性質・能力

最大25枚の300mmウェーハを安全に輸送することができます。

 

[用途例]

  • ウェーハ用出荷ケース

特長

  • SEMI規格準拠。
  • 手動およびロードポートによるドア開閉が可能。
  • 密閉性が高く、外部からのパーティクルや汚染を防止。

仕様

  • 洗浄乾燥時間を短縮し、寸法精度を維持する単一成型品となっています。