300mmウェーハ用の自動化対応の工場間搬送容器。

 

［産業分野］

半導体

性質・能力

最大25枚の300mmウェーハを安全に輸送することができます。

 

［用途例］

  • ウェーハ用出荷ケース

特長

  • SEMI規格準拠。
  • 手動およびロードポートによるドア開閉が可能。
  • 密閉性が高く、外部からのパーティクルや汚染を防止。

仕様

  • 洗浄乾燥時間を短縮し、寸法精度を維持する単一成型品となっています。

パーツ構成

標準仕様

Part No. Name
MW 300GT-A Body
MW 300G-L Center Retaining Feature
MW 300GT-CS2 Door set
MW 300GT-CS-B Front Retainer
MW 300GT-CS-N Vent Filter

Front/Left Side View

Rear/Right Side View

Bottom View

Side View

Front View

Rear View

Door

Vent Filter

オプションパーツ

オプション

PART Number PART Name
MW 300G-G Info-Pad Plate
MW 300F-PL Info-Pad Plug (Large)
MW 300F-PS Info-Pad Plug (Small)
MW 300G-M Top Robotic Flange
MW 300G-HS Manual Handle

Info-Pad Plate