300mmウェーハ用の自動化対応の工場間搬送容器。
[産業分野]
半導体
最大25枚の300mmウェーハを安全に輸送することができます。
[用途例]
- ウェーハ用出荷ケース
- SEMI規格準拠。
- 手動およびロードポートによるドア開閉が可能。
- 密閉性が高く、外部からのパーティクルや汚染を防止。
- 洗浄乾燥時間を短縮し、寸法精度を維持する単一成型品となっています。
パーツ構成

標準仕様
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![]() Front/Left Side View |
![]() Rear/Right Side View |
![]() Bottom View |
![]() Side View |
![]() Front View |
![]() Rear View |
![]() Door |
![]() Vent Filter |
オプションパーツ

オプション
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![]() Info-Pad Plate |