200mmウェーハ用の工場間搬送容器。

 

[産業分野]

半導体

性質・能力

最大25枚の200mmウェーハを安全に輸送することができます。

 

[用途例]

  • ウェーハ用出荷ケース

特長

  • 高純度樹脂を使用

仕様

  • 全パーツが別々の構造となっています。

寸法

構成部品

MW 200N-C
(Polycarbonate)

MW 200N-1B

MW 200N-A-1
(Polypropylene)

MW 200N-E-2
(Elastomer)

MW 200N-DH1
(Polypropylene)

オプションパーツ

MW 200N-B

(Elastomer)

MW 200N-A-5

MW 200N-A-3