150mmウェーハ用の工場間搬送容器。

 

［産業分野］

半導体

性質・能力

最大25枚の150mmウェーハを安全に輸送することができます。

 

［用途例］

  • ウェーハ用出荷ケース

特長

  • 高純度樹脂を使用

仕様

  • 全パーツが別々の構造となっています。
  • 高いシール性を持つガスケット構造を採用しています。