パネルレベルパッケージ製造のプロセスで使用する工程内容器です。

 

［産業分野］

半導体

性質・能力

600mm ×600mm、または510mm×515mmのパネルを搬送、保管することができます。

 

［用途例］

  • 工程内搬送容器

特長

  • SEMI規格に準拠しています。
  • 手動およびロードポートによるドア開閉が可能です。
  • 湿度コントロール性に優れています。

仕様

  • 600mm×600mm、又は510mm×515mm、2種類のパネルサイズに対応しています。（筐体のサイズはそれぞれ異なります。）
  • 収納数は、12枚または6枚を選択可能です。
  • 金属製筐体です。