300mmウエハー用の搬送、保管するための自動化対応の工程内用搬送容器。
[産業分野]
半導体
最大25枚の300mmウエハーを安全に輸送することができます。
[用途例]
- 工程内搬送容器
- 優れた密閉性を有し、外部からのパーティクルや汚染を防ぎます。
- パーティクルの発生を防ぎ、寸法精度を維持するための単一成型品となっています。
- 主要パーツにESD材を使用しています。
- 洗浄乾燥時間を短縮し、寸法精度を維持する単一成型品となっています。
オプション
![]() Conductive Side Rails |
![]() Bar Code & RF ID Tag |
![]() UV Cut Window & Card Case |
カラーオプション
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