300mmウエハー用の搬送、保管するための自動化対応の工程内用搬送容器。

 

[産業分野]

半導体

性質・能力

最大25枚の300mmウエハーを安全に輸送することができます。

 

[用途例]

  • 工程内搬送容器

特長

  • 優れた密閉性を有し、外部からのパーティクルや汚染を防ぎます。
  • パーティクルの発生を防ぎ、寸法精度を維持するための単一成型品となっています。

仕様

  • 主要パーツにESD材を使用しています。
  • 洗浄乾燥時間を短縮し、寸法精度を維持する単一成型品となっています。