150mmウェーハ用の工場間搬送容器。

 

[産業分野]

半導体

性質・能力

最大25枚の150mmウェーハを安全に輸送することができます。

 

[用途例]

  • ウェーハ用出荷ケース

特長

  • 高純度樹脂を使用

仕様

  • 全パーツが別々の構造となっています。

寸法

構成部品

MW 150N-C-1
(Polycarbonate)

MW 150N-B
(Elastomer)

MW 150N-A
(Polypropylene)

MW 150N-E
(Elastomer)

MW 150N-D-1
(Polypropylene)