薄ウエーハハンドリングJig（On-Off Jig）

Shin-Etsu On-Off Jig

3次元実装技術やSiPのような次世代のパッケージングではウエーハが薄くなってきており、工程内ハンドリングや搬送は非常に困難になってきています。信越ポリマーは、サポートジグを使用した新たな薄ウエーハの工程内ハンドリングや搬送方式を提案いたします。

■	On-Offジグをサポート材(支持体)として用いることで、薄物製品を割れ・欠けなく、安心して取り扱えます。
■	真空を利用して密着・剥離する新方式を採用していますので、脆弱な製品に最適です。
■	外形サイズは任意に設計可能で、形状は丸型、角型も可能です。
■	粘着力は自在にコントロールすることが可能です。
■	薄ウエーハの反りを矯正することもできます。
	※製品ごとに条件の確認が必要となります。
■	繰返し使用も可能です。
	※クリーニングが必要となるケースもあります。

脆弱な薄物製品(ウエーハ、ガラス、フィルム等)の工程内ハンドリングまたは輸送・搬送に使用出来ます。

※	プロセス適応可否などはご相談下さい。

Shin-Etsu On-Off Jigに25μm厚のウエーハを密着、剥離した状態

Shin-Etsu On-Off Jigの動作デモをご覧いただけます。
	Shin-Etsu On-Off Jigで薄ウエーハを搬送・保管するコンセプトを装置化したウエーハサポートシステム（WSS）の一例です。実際の装置は適応プロセスにより、形態が異なります。

この動画をご覧いただくには、以下のソフトが必要です。お持ちでない方はバナーをクリックし、ソフトをダウンロード（無料）してご利用ください。

　Windows：Windows Media Player

　Macintosh：Quick Time

※	ダウンロード開始してから動画をご覧いただくまで数十秒～数分かかる場合があります。お客様のインターネット接続環境、回線状況により異なります。

	研究開発技術応用製品

製品情報＞研究開発技術応用製品＞ 薄ウエーハハンドリングJig（On-Off Jig）